德國Leybold真空計(jì)常見種類有下面這些：

　　1.熱傳導(dǎo)真空儀

　　利用氣體在不同壓強(qiáng)下熱傳導(dǎo)能力隨之變化的原理測量氣體壓強(qiáng)。在這類真空儀中，以一定加熱電流通過裝有熱絲的規(guī)頭，熱絲的溫度決定于加熱和散熱之間的平衡。散熱能力是氣體壓強(qiáng)的函數(shù)，故熱絲的溫度隨壓強(qiáng)而變化。如用一附加的熱偶測量熱絲的溫度，則這種規(guī)頭稱為熱偶規(guī)；如利用熱絲本身的電阻值來反映溫度，則稱電阻規(guī)或皮喇尼規(guī)。氣體熱傳導(dǎo)只在低壓強(qiáng) (P<100帕)下隨壓強(qiáng)變化，而低至10-1帕?xí)r氣體熱傳導(dǎo)又不是主要的散熱方式，因此熱傳導(dǎo)真空儀主要用于100～10-1帕范圍，采取特殊措施可擴(kuò)大測量范圍。

　　2.皮拉尼真空儀

　　其工作原理是：真空度不同，單位體積內(nèi)的空氣分子數(shù)就不同，對于正在發(fā)熱的電阻絲帶走熱量的能力（散熱能力）就不同，電阻絲溫度就不同，因?yàn)殡娮杞z的電阻率是溫度的函數(shù)，所以不同的真空度就引起了電阻率的不同，則電阻就不同，電流在電阻絲上的壓降就不同，根據(jù)電壓的變化就能換算出空氣壓強(qiáng)，也就是測量真空度。

　　3.電容薄膜真空儀

　　電容薄膜真空儀也是德國Leybold真空計(jì)的一種，它屬彈性元件真空儀，彈性薄膜將規(guī)管真空室分為兩個小室，即參考壓強(qiáng)室和測量室。測量低壓強(qiáng) (P<100帕)時，參考室抽至高真空,其壓強(qiáng)近似為零。當(dāng)測量室壓強(qiáng)不同時，薄膜變形的程度也不同。在測量室中有一固定電極，它與薄膜形成一個電容器。薄膜變形時電容值相應(yīng)改變，通過電容電橋可測量電容的變化從而確定相應(yīng)壓強(qiáng)值。為了防止薄膜發(fā)生蠕變，通常采用零位法測量，即在固定電極和薄膜之間加一直流電壓，利用靜電力補(bǔ)償薄膜受壓強(qiáng)差而產(chǎn)生的應(yīng)力，使膜片保持零位。電容薄膜真空儀可直接測量氣體或蒸氣的壓強(qiáng)，測量值與氣體種類無關(guān)、結(jié)構(gòu)牢固、可經(jīng)受烘烤，如對不同壓強(qiáng)范圍采用不同規(guī)頭，可得到較高精度。電容薄膜真空儀可用于高純氣體監(jiān)測、低真空精密測量和壓強(qiáng)控制，也可用作低真空測量的副標(biāo)準(zhǔn)。